Geräteparameter |
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arbeitsfrequenz |
20 kHz±1 kHz |
service-Leistung |
2000W |
frequenzauflösung |
1Hz |
Wellenformverzerrungsgrad |
<1 % (20 kHz Sinuswelle) |
Ausgabeamplitude |
±10~±75 μm |
regelgenauigkeit |
1μm |
linearitätsgrad |
> 99% |
antriebsleistung |
Numerisch gesteuerte Spannungserzeugung |
betriebsmodus |
Dauer- oder Intervallbetrieb |
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Produktparameter |