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プロジェクトの背景
中国陝西煤業集団研究院は、1mmおよび2mm厚の熱シリコンウェーハ向け自動切断技術を開発しました。
装置概要
この40K超音波システムは、熱伝導性シリコンウエハーの切断を目的として設計されており、切断工程中の動作精度誤差はわずか0.05 mmという高精度が要求されます。
装置図
動画デモ
植物パラメーター
| 総技術仕様 | 振動部品のパラメータ | 組立部品および材料 |
| 仕様モデル：HC-XCK40GD | トランスデューサー: 圧電セラミック/輸入アルミニウム | 冷却方法: 空冷 |
| 総消費電力：100 W | 振幅棒：高品質航空機級アルミニウム製 | 最大動作温度：0–45°C |
| 動作周波数：40.0 ± 1 kHz | ツールヘッド：チタン合金 | 最大許容圧力：大気圧 |
| 入力電圧：220V/50Hz | 固定フランジ／保護ハウジング：アルミニウム合金 |
